Serie GF40
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FICHA TÉCNICA Controladores y medidores de flujo másico Controladores y medidores de flujo másico térmico MultiFlo™ digitales sellados con elastómero para gases Modelo GF40 El controlador de flujo másico (CFM) térmico y medidor de flujo másico (MFM) térmico GF40 de Brooks® logra un rendimiento, fiabilidad y flexibilidad sin precedentes en muchas aplicaciones de control y medición de flujos de gases. En el núcleo del GF40 se halla el dispositivo compatible con la 4a generación del software MultiFlo™ patentado por Brooks. MultiFlo supera una limitación histórica de muchos CFM térmicos: al cambiar el tipo de gas, un simple factor de corrección, como la relación entre las capacidades caloríficas del gas de calibración y del nuevo gas, no toma en cuenta las diferencias de densidad y viscosidad entre los gases y hace disminuir la precisión. La base de datos MultiFlo de Brooks se basa en miles de pruebas con gases nativos para establecer funciones de corrección tomando en cuenta las diferencias tanto térmicas como físicas entre los distintos gases, lo que convierte a la serie GF40 en uno de los CFM y MFM más precisos y flexibles disponibles hoy en día. La serie GF40 de Brooks es la elección perfecta para clientes que utilizan controladores de flujo másico o medidores de flujo másico con varios gases, quien necesita cambiar el tipo de gas con frecuencia o quien necesita cambiar de rango manteniendo la precisión en el control y medición del gas. Algunos ejemplos: • Los fabricantes de equipos originales (OEM, por sus siglas en inglés) reducirán el número de CFM de gases y rangos específicos que necesitan mantener en inventario. • Industria solar, biotecnología, procesos de deposición química de vapor (CVD, por sus siglas en inglés), plasma, vidrio, recubrimiento de bandas, nanotecnología, procesos de vacío y otros grandes usuarios de medidores y controladores de flujo másico similares reducirán en gran medida su inventario de recambios para gases y rangos específicos. • Usuarios de I+D, investigación y laboratorio pueden cambiar rápidamente las condiciones de los experimentos y conseguir una precisión con el gas actual de proceso mucho mayor en comparación con dispositivos de flujo másico tradicionales. La programación de MultiFlo es sencilla y rápida: se puede programar un nuevo gas y rango en menos de 60 segundos sin detener el funcionamiento del dispositivo ni desconectarlo del proceso o herramienta de control del sistema La serie GF40 de Brooks cuenta con un sensor C-22 Hastelloy resistente a la corrosión de uso duradero y funcionamiento a largo plazo. Tiempos de estabilización inferiores al segundo y una precisión en el punto de consigna del 1% garantizan que el GF40 proporcione una medición y control de flujo fiables en aplicaciones exigentes de flujo de gas s. El GF40 consigue una excelente integridad ante fugas internas y externas para procesos de flujo de gases complejos, como procesos CVD, solares y otros. Con una amplia gama de tipos de conectores, materiales de junta y asientos de válvula, opciones de E/S analógicas y digitales disponibles, el GF40 representa una mejora muy potente, pero s

Opciones de comunicación analógicas y digitales: • RS485 analógica • DeviceNetTM • Profibus® • EtherCAT® Puerto de servicio/diagnóstico • Diagnósticos y resolución de problemas sencillos • Independiente de la herramienta de comunicación Sensor de respuesta rápida de tercera generación • Excelente estabilidad a largo plazo (<+0,5% F.S/año) • Relación señal-ruido mejorada • Alta velocidad de purga • Operación a baja temperatura para gases propensos a descomposición térmica Válvula de control solenoide • Juntas de elastómero o metal • Alta velocidad de purga • Operación normalmente abierta o...

Descripción del producto Configurabilidad de gases y rangos de MultiFlo™ La tecnología MultiFlo de Brooks, un gran avance respecto a los tradicionales factores de conversión de gas de un solo punto, proporciona una mejora de hasta tres veces en la precisión del proceso de gas. Esto se logra gracias al modelado de gases avanzado y a extensos protocolos de pruebas de gases reales, que proporcionan una compensación extremadamente precisa. MultiFlo también permite configurar el dispositivo de manera rápida y sencilla para otro gas o rango de caudal sin comprometer la precisión ni la capacidad...

Diagnósticos mejorados El controlador de flujo másico sigue siendo uno de los componentes más complejos y críticos de los sistemas de suministro de gases; retirar el controlador de flujo másico para determinar si es defectuoso debería ser la última opción. Como respuesta a tal hecho, Brooks lideró la fabricación de controladores de flujo másico inteligentes, con rutinas de autodiagnóstico incorporadas, e introdujo un puerto de servicio/diagnóstico independiente para proporcionar acceso a datos de diagnóstico para la resolución de problemas sin interrumpir el funcionamiento del controlador...

Paneles solares/CVD Desarrollados para cumplir los diversos requisitos de procesos de los mercados de paneles solares, fibra óptica y revestimientos de cristal o metal, los controladores de flujo másico GF40 ofrecen una solución de plataforma única para hornos de difusión, de deposición de láminas delgadas y otras aplicaciones complicadas. CONTROLADORES DE FLUJO MÁSICO Con el GF40, que ofrece una variedad de juntas de elastómero, esta plataforma única cubre sistemas de distribución de gases complejos. MultiFlo puede minimizar inventarios costosos proporcionando a su vez una precisión de...